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このページは翻訳版です。お見積り、技術的なご質問への回答、プロジェクトのやり取りは英語で行います。

半導体製造装置

半導体のプロセス装置・テスト装置向け銅製冷却部品の3Dプリント

銅AMを使えば、限られた半導体装置のアセンブリの中に、コンパクトな冷却流路、マニホールド、RF形状、熱インターフェースを配置できます。求められるのは汎用の銅部品ではなく、洗浄できる流路、加工された基準、シール面、耐圧性、材料の裏付け、合意した検査範囲を備えた管理部品です。

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要点

温度均一性、コンパクトな配管、一体化したマニホールド、RFまたは真空のインターフェース、接合部の削減が工程を正当化する場合に、半導体装置で銅AMを使います。意味のある見積を出すには、清浄度、リーク性能、重要な面、文書、使用条件を先に定める必要があります。

対象用途

対象となる部品と技術課題

ウェハステージ・チャンバー用冷却ブロック

局所流路、加工した取付面、シール面、管理された流量分布を備えたコンパクトな温度制御部品。

レーザー・検査システム用の熱部品

高出力の光学系や計測系の近くで使う銅製のヒートスプレッダ、冷却マウント、マニホールド、精密インターフェース。

RF・真空用の銅部品

導電面とシール・清浄度の要求を組み合わせた、導波管、空洞、アブソーバ、マニホールド、冷却付き真空部品。

テスト・パッケージング装置

認定試験や大電力デバイスの試験に使う、少量の熱ブロック、通電治具、コールドプレート、局所冷却部品。

製造方法

形状が明確な価値を生むときだけ3Dプリントを選ぶ

銅AMが有力な候補になるのは

  • 冷却流路を、円形、曲面、または密集した熱ゾーンに沿わせる必要がある。
  • マニホールド、ポート、取付形状をまとめ、接合部を減らせる。
  • 一つの少量部品の中で、RF、真空、熱、機械の機能が重なっている。
  • 設計に、洗浄、機械加工、検査、交換の現実的な方法が含まれている。

従来工法の方が適していることが多いのは

  • まっすぐな穴あけ流路と単純な機械加工の銅ブロックで要求を満たせる。
  • 部品が汎用のプレート、バー、電極素材、標準のヒートスプレッダである。
  • 内部形状について、粉末除去、洗浄、流量試験、リーク試験の方法が決まっていない。
  • 手の届かない形状について、要求される清浄度や表面の裏付けを得られない。

技術的な入力情報

実現性、コスト、リードタイムに影響する情報

見積依頼に含める情報必要な理由
温度制御の目的分かる範囲で、熱負荷、均一性の目標、発熱源の範囲、温度範囲、冷却液、流量、圧力損失の上限をお知らせください。
清浄度と媒体適合性プロセス媒体、パーティクルや残渣の懸念、フラッシング、乾燥、不動態化、梱包、顧客固有の清浄度基準を定めてください。
真空とリークの要求使用環境、シール方法、使用圧力と耐圧試験圧力、リーク試験方法、合否基準、保持時間、ベーキングや熱履歴を明記してください。
精密インターフェース加工基準、平坦な伝熱面、ポート、ねじ、シール面、RF面、位置合わせ形状と、それぞれの検査方法を示してください。
材料とトレーサビリティ純銅またはCuCrZrの希望、許容する同等材、熱処理状態、証明書、クーポン、特性の裏付けを定めてください。
初品の裏付け三次元測定、CT、流量、圧力、ヘリウムリーク、粗さ、導電率、洗浄の裏付け、熱機能試験のどれが必要かを決めてください。

リスク管理

見積前に解消すべきリスク

設計確定後に清浄度を決める

製造できる流路でも、粉末除去、フラッシング、乾燥、検査、梱包が難しいことがあります。清浄度は、流路形状、ポート、造形方向に反映させる必要があります。

機能インターフェースへの普通公差

造形したままの形状と、加工基準、シール面、RF面、ねじポート、伝熱面を分けてください。それぞれに現実的な仕上げと検査の方法が必要です。

CTをすべての要求の証明とみなす

CTは内部の確認に役立ちますが、流量、リーク、圧力、清浄度、熱、寸法の各機能には、それぞれの受入の裏付けが必要です。

導電率だけで材料を選ぶ

純銅は導電率を最大化し、CuCrZrはねじ、薄い圧力境界、締結されるインターフェース、繰り返しの組立を守る場合があります。データシートの値だけでなく、完成部品のリスクで選んでください。

お見積り

有用な見積に必要な情報を送る

STEPファイルがあれば形状レビューを始められます。使用条件と受入基準があれば、未確認の前提ではなく完成部品に基づいた見積になります。

  • STEPファイルと管理された図面
  • 熱負荷、温度、均一性の目標
  • 冷却液、流量、圧力、リークの基準
  • 清浄度、媒体、乾燥、梱包
  • 加工基準、シール、ポート、面
  • 材料、熱処理、トレーサビリティ
  • 試作、認定、ロットの数量
  • 三次元測定、CT、流量、リーク、機能試験

関連する技術ガイド（英語）

技術資料

外部資料は工程と用途の背景情報として掲載しています。プロジェクトの受入値は、図面と使用条件に基づいて別途定める必要があります。

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図面と重要な要求事項をお送りください

CADは後からでも構いません。NDA締結可、2営業日以内に返信します。メールをご希望の場合は プロジェクトの概要を送る.

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